一、概述HiPace® 700
可在任何方向安装 集成型驱动电子设备 TC 400 集成式高性能冷却系统 DN 160 CF-F 法兰,适用于苛刻的超高真空应用场合 结构紧凑但功能强大的涡轮泵,用于 N2 时的最高抽速可达 685 l/s 最佳真空性能,最低功耗 涡轮分子泵入门套件易于安装、快速应用和运行 最佳匹配的组件,真正的“即插即用”
P系列
工艺过程适宜,耐灰尘 理想适用于涂层及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用
Plus
极微振动 杂散磁场低 适用于高要求分析设备、例如电子显微镜
H系列高压缩率 极高的压缩率,尤其适用于轻质气体 适用于生成超高真空
二、技术参数
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| HiPace 700 | HiPace 700 |
| 入口接口 | DN16 ISO-K | DN160 CF-F | DN160 ISO-F | DN160 ISO-K | DN160 CF-F | DN160 ISO-F | 电子驱动单元 | 型号 | TC400 | TC400 | TC400 | TCP350 | TCP350 | TCP350 | 是否独立驱动 | 标配 | 标配 | 标配 | 外置 | 外置 | 外置 | 抽速 | Ar(L/S) | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 | H2(L/S) | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | He(L/S) | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | N2(L/S) | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | 极限压力 | hPa | <1*10-7 | <5*10-10 | <1*10-7 | <1*10-7 | <5*10-10 | <1*10-7 | 建议启动压强 | hPa | ≤11 | ≤11 | ≤11 | ≤10 | ≤10 | ≤10 | 运行电压 |
| 48 (± 5 %) VDC | 48 (± 5 %) VDC | 48 (± 5 %) VDC | 48 (± 5 %) VDC | 48 (± 5 %) VDC | 48 (± 5 %) VDC | 转速± 2 % | RPM | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 可变转速 |
| 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 安装方向 |
| 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 冷却方式,标准 |
| 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 冷却方式,可选 |
| 水 | 水 | 水 | 水 | 水 | 水 | 冷却水温度 |
| 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 冷却水消耗 | l/h | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 轴承 |
| 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 声噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | 通讯 |
| RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | 防护等级 |
| IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | 磁场最高许可强度 | mT | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 排气接口 |
| DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | 放空接口 |
| G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | 单泵订单号 |
| PM P03 933 | PM P03 934 | PM P03 935 | PM P04 080 | PM P04 081 | PM P04 082 | 基础套件 | 调节控制器型号 | DCU400 | DCU400 | DCU400 | TCP 350 | TCP 350 | TCP 350 | 调节控制器 | PM C01 823 | PM C01 823 | PM C01 823 | PM C01 740 | PM C01 740 | PM C01 740 | 接头线,3米 | PM 061 352-T | PM 061 352-T | PM 061 352-T | PM 061 356-T | PM 061 356-T | PM 061 356-T | 电源线 | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | 轴流风扇 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 |
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| HiPace 700P | HiPace 700 Plus |
| 入口接口 | DN16 ISO-K | DN160 CF-F | DN160 ISO-F | DN160 ISO-K | DN160 CF-F | DN160 ISO-F | 电子驱动单元 | 型号 | TC400 | TC400 | TC400 | TC400 | TC400 | TC400 | 是否独立驱动 | 标配 | 标配 | 标配 | 标配 | 标配 | 标配 | 抽速 | Ar(L/S) | 650 | 650 | 650 | 665 | 665 | 665 | H2(L/S) | 275 | 275 | 275 | 555 | 555 | 555 | He(L/S) | 550 | 550 | 550 | 655 | 655 | 655 | N2(L/S) | 670 | 670 | 670 | 685 | 685 | 685 | 极限压力 | hPa | <1*10-7 | <5*10-10 | <1*10-7 | <1*10-7 | <5*10-10 | <1*10-7 | 建议启动压强 | hPa | ≤1.1 | ≤1.1 | ≤1.1 | ≤11 | ≤11 | ≤11 | 运行电压 |
| 48 (± 5 %) VDC | 48 (± 5 %) VDC | 48 (± 5 %) VDC | 24 (± 5 %) VDC | 24 (± 5 %) VDC | 24 (± 5 %) VDC | 转速± 2 % | RPM | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 可变转速 |
| 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 安装方向 |
| 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 竖直,法兰口朝上 | 竖直,法兰口朝上 | 竖直,法兰口朝上 | 冷却方式,标准 |
| 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 冷却方式,可选 |
| 水 | 水 | 水 | 水 | 水 | 水 | 冷却水温度 |
| 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 冷却水消耗 | l/h | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 轴承 |
| 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 耐颗粒材质 |
| YES | YES | YES |
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| 低振动 |
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| YES | YES | YES | 声噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | 通讯 |
| RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | 防护等级 |
| IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | 磁场最高许可强度 | mT | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 排气接口 |
| DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | 放空接口 |
| G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | 单泵订单号 |
| PM P04 275 | PM P04 681 | PM P04 680 | PM P04 440 | PM P04 441 | PM P04 442 | 基础套件 | 调节控制器型号 | DCU400 | DCU400 | DCU400 | DCU310 | DCU310 | DCU310 | 调节控制器 | PM C01 823 | PM C01 823 | PM C01 823 | PM C01 822 | PM C01 822 | PM C01 822 | 接头线,3米 | PM 061 352-T | PM 061 352-T | PM 061 352-T | PM 061 352-T | PM 061 352-T | PM 061 352-T | 电源线 | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | 轴流风扇 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 |
|
| HiPace 700H | HiPace 700H |
| 入口接口 | DN160 ISO-K | DN160 CF-F | DN160 ISO-F | DN160 ISO-K | DN160 CF-F | DN160 ISO-F | 电子驱动单元 | 型号 | TC400 | TC400 | TC400 | TCP350 | TCP350 | TCP350 | 是否独立驱动 | 标配 | 标配 | 标配 | 外置 | 外置 | 外置 | 抽速 | Ar(L/S) | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 | H2(L/S) | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | He(L/S) | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | N2(L/S) | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | 极限压力 | hPa | <1*10-7 | <1*10-10 | <1*10-7 | <1*10-7 | <1*10-10 | <1*10-7 | 建议启动压强 | hPa | ≤22 | ≤22 | ≤22 | ≤22 | ≤22 | ≤22 | 转速± 2 % | RPM | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 可变转速 |
| 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 60-100% | 安装方向 |
| 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 | 冷却方式,标准 |
| 水 | 水 | 水 | 水 | 水 | 水 | 冷却方式,可选 |
| 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 空气 | 冷却水温度 |
| 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 15-35℃ | 冷却水消耗 | l/h | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 轴承 |
| 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 复合式 | 声噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | 通讯 |
| RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | RS-485 Remote | 防护等级 |
| IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | 磁场最高许可强度 | mT | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 排气接口 |
| DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | DN25 ISO-KF G1/4" | 放空接口 |
| G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | G1/8" | 单泵订单号 |
| PM P05 750 | PM P05 751 | PM P05 752 | PM P05 753 | PM P05 754 | PM P05 755 | 基础套件 | 调节控制器型号 | DCU400 | DCU400 | DCU400 | TCP 350 | TCP 350 | TCP 350 | 调节控制器 | PM C01 823 | PM C01 823 | PM C01 823 | PM C01 740 | PM C01 740 | PM C01 740 | 接头线,3米 | PM 061 352-T | PM 061 352-T | PM 061 352-T | PM 061 356-T | PM 061 356-T | PM 061 356-T | 电源线 | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | P 4564 309ZA | 轴流风扇(可选项) |
| PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 | PM Z01 303 |
三、基础附件
四、抽速和尺寸图
五、资料下载5.1) HiPace 700 分子泵资料下载
涡轮分子泵.pdf
5.2) HiPace700H分子泵资料下载 PMP05751-HiPace700H.zh.pdf
六、联系方式:上海典初真空技术有限公司 手机:+86 139 1718 9384 邮箱:dianchu_vacuum@163.com 网址:www.dianchuvacuum.com QQ: 1992027585
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