工作原理

外观及结构图

产品规格

本真空泵为清洁排气规格。
请不要让对人体有毒的气体、有爆炸和燃烧危险的气体、腐蚀性气体、药品、溶剂、粉状体等物质流过真空泵。对于排过特殊气体的真空泵，本公司不进行维护保养，请谅解。
请在周围温度为5℃～40℃（ISP-1000为10℃～40℃）的范围内使用。

选型举例

抽气速率

产品特点

丰富的产品系列

从ISP-50到ISP-1000，共5个机型。
从大气压到极限压力，可对应广泛的压力范围。
因为是多电压电源，可使用世界任何地方的电源（除ISP-50外）。
“实际业绩”是阿耐思特岩田的证明

从加速器到通用真空市场，无油涡旋真空泵正在各种真空环境下大显身手。
润滑油不会逆扩散，可得到清洁的真空。
能承受大气压和真空的反复切换，在大气附近也可以连续运转。
所以是最畅销的产品。
低振动、低噪音、高效率！这就是涡旋真空泵

吸气、压缩、排气行程连续，采用的涡旋机构扭矩变化小，所以低振动、低噪音。
吸气室和排气室不相邻，所以泄漏量少，效率高。
维护简单

不使用冷却水和润滑油，所以设置、维护也非常简单。
不需要检查或更换滤油器、润滑油。

产品介绍

最畅销的无油泵

[NEW]提高了防泄漏性能的防泄漏规格新登场！
・清洁排气、真空
・低振动、低噪音，使用方便
・对应CE、CSA
・对应RoHS指令

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外形尺寸

泵	型号	外形尺寸
	ISP-50
	ISP-90
	ISP-250C
	ISP-500
	ISP-1000

产品用途

有些客户希望高效回收对稀有气体和环境有影响的气体，有些客户希望进行高精度分析，根据他们的要求，我们在500L级产品中新增加了防泄漏规格，与旧机型相比，防泄漏性能大大提高了。
当然，因为是涡旋式，所以具有低振动、低噪音的特点，可在从大气压到极限压力的范围内使用。
[主要用途]
■气体回收
■分析装置
■其他

■溅射装置、蒸镀装置、离子电镀装置    

■加速器
■表面改质装置、电子束加工    

■真空溶解炉、真空热处理炉
■气体循环、回收装置    

■理化实验用、分析机器用
■各种排气装置    

■真空包装机
■He检漏仪   

 ■其他
■真空吸附搬运