传承经典,不忘初心! 上海典初真空技术有限公司欢迎您!
产品分类
安捷伦复合离子泵 VacIon Plus

一、特性

复合 VacIon Plus 离子泵

Agilent VacIon Plus 复合泵集成了钛升华泵技术,能够实现超高真空。钛升华泵 (TSP) 能够以极高的抽速抽取活性气体,而离子泵适用于氩气和甲烷等非活性气体。可以将 TSP 添加到离子泵的内部,或者将其作为一个独立的抽气单元。

复合泵配置适用于 VacIon Plus 150、300 或 500,并包含圆柱形低温板、在外侧或底部额外安装的 8 英寸 ConFlat 法兰接口以及一个安装至该接口的 TSP 升华源,以额外提供高抽气速度。

安捷伦提供两种肽升华泵:钛丝源和钛球源。灯丝型 TSP 源在两次升华之间可以关闭,因此可以避免气体在高温下逸出。球型 TSP 源含有更多的钛,在需要钛较多(例如较高的操作压力)的条件下,可以使用更长的时间。




二、钛升华泵(TSP)

钛升华泵 (TSP) 泵芯是用于抽除 UHV/XHV 系统中所有可吸收气体的一种有效手段。TSP 可添加到离子泵内部,也可作为独立的泵单元。与液冷低温挡板结合使用可降低温度,进一步提高中间气体的抽速。

钛丝型 TSP 泵在 UHV 系统中最常用,因为它可在两次升华间关闭,因此不会增加高温引起的气体逸出。球形钛泵含大量钛,在需要使用较多钛的条件下(例如较高的运行压力),它的使用寿命更长。



  • 在 2.75 英寸 ConFlat 法兰上提供

  • 可烘烤至 400 °C

  • 运行压力范围为 1.0–4 至 1.0–12 mbar

  • 钛丝架上装有三根钛丝,每根丝含 1.1 g 可用钛

  • 可更换钛丝包中有 12 条钛丝,足以进行 4 次替换

  • Mini Ti-Ball 钛球可提供 15.2 g 可用钛,能够延长使用寿命

  • 在 300 瓦的功率下可实现最大程度的 Ti-Ball 钛球升华,但待机功率要求为 100 瓦,以免钛球在不使用时破裂

三、资料下载


3.1)离子泵资料下载


         Agilent_Catalog_Ion_Pumps.pdf



3.2) IPCMini控制器资料下载


          IPCMini_DataSheet.pdf



四、部件号及说明 



部件号说明
9160051钛升华泵,更换灯丝,12/包
9240730高压电缆,钛升华芯,3.5 m
9160008更换微型 Ti-Ball 源
9240730M001TSP CABLE
9160050钛升华泵,灯丝源,2.75   英寸,ConFlat
9240730M017TSP CARTRIDGE CABLE
9190180钛升华 Cryopanel,8   英寸,ConFlat 法兰
9240730M015TSP CARTRIDGE CABLE
9240730M013TSP CABLE
9299011控制器,Vaclon   离子泵,4UHV,200 W 正压
9299010控制器,Vaclon   离子泵,4UHV,200 W 负压
9299200控制器,Vaclon   离子泵,4UHV,两条通道,80 W 负压
9299201控制器,Vaclon   离子泵,4UHV,两条通道,80 W 正压
9299211控制器,Vaclon 离子泵,4UHV,2   x 80 W 正压通道和 1 x 200 W 正压通道
9299210控制器,Vaclon 离子泵,4UHV,2   x 80 W 负压通道和 1 x 200 W 负压通道
9299021控制器,Vaclon   离子泵,4UHV,两条通道,200 W 正压
9299020控制器,Vaclon   离子泵,4UHV,两条通道,200 W 负压
9299213控制器,Vaclon 离子泵,4UHV,2   x 80 W 负压通道和 1 x 200 W 正压通道
9299212控制器,Vaclon 离子泵,4UHV,2   x 80 W 正压通道和 1 x 200 W 负压通道
9299400控制器,Vaclon 离子泵,4UHV,4   x 80 W 负压通道
9299401控制器,Vaclon 离子泵,4UHV,4   x 80 W 正压通道
9299022控制器,Vaclon   离子泵,4UHV,200 W 负压和 200 W 正压通道
9299402控制器,Vaclon 离子泵,4UHV,2   × 80 W 正压通道和 2 × 80 W 负压通道
9192541StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 150,150 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192510二极离子泵,用于 VacIon Plus   150,150 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192511二极离子泵,用于 VacIon Plus   150,150 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192540StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 150,150 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192611二极离子泵,用于 VacIon Plus   300,300 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192642StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 300,300 L/s,带底部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192643StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 300,300 L/s,带底部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192610二极离子泵,用于 VacIon Plus   300,300 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192612二极离子泵,用于 VacIon Plus   300,300 L/s,带底部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192613二极离子泵,用于 VacIon Plus   300,300 L/s,带底部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192641StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 300,300 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192640StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 300,300 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192713二极离子泵,用于 VacIon Plus   500,500 L/s,带底部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192711二极离子泵,用于 VacIon Plus   500,500 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192712二极离子泵,用于 VacIon Plus   500,500 L/s,带底部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192710二极离子泵,用于 VacIon Plus   500,500 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192743StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 500,500 L/s,带底部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器
9192742StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 500,500 L/s,带底部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192740StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 500,500 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 120 V 加热器
9192741StarCell 离子泵,用于   VacIon Plus 500,500 L/s,带侧部安装的 Cryopanel,TSP 泵芯,已安装 220 V 加热器


五、联系方式:

上海典初真空技术有限公司

手机:+86 139 1718 9384 

邮箱:dianchu_vacuum@163.com

网址www.dianchuvacuum.com

QQ:  1992027585


典初二维码.jpgimage.png