复合 VacIon Plus 离子泵

Agilent VacIon Plus 复合泵集成了钛升华泵技术，能够实现超高真空。钛升华泵 (TSP) 能够以极高的抽速抽取活性气体，而离子泵适用于氩气和甲烷等非活性气体。可以将 TSP 添加到离子泵的内部，或者将其作为一个独立的抽气单元。

复合泵配置适用于 VacIon Plus 150、300 或 500，并包含圆柱形低温板、在外侧或底部额外安装的 8 英寸 ConFlat 法兰接口以及一个安装至该接口的 TSP 升华源，以额外提供高抽气速度。

安捷伦提供两种肽升华泵：钛丝源和钛球源。灯丝型 TSP 源在两次升华之间可以关闭，因此可以避免气体在高温下逸出。球型 TSP 源含有更多的钛，在需要钛较多（例如较高的操作压力）的条件下，可以使用更长的时间。

二、钛升华泵(TSP)

钛升华泵 (TSP) 泵芯是用于抽除 UHV/XHV 系统中所有可吸收气体的一种有效手段。TSP 可添加到离子泵内部，也可作为独立的泵单元。与液冷低温挡板结合使用可降低温度，进一步提高中间气体的抽速。

钛丝型 TSP 泵在 UHV 系统中最常用，因为它可在两次升华间关闭，因此不会增加高温引起的气体逸出。球形钛泵含大量钛，在需要使用较多钛的条件下（例如较高的运行压力），它的使用寿命更长。

在 2.75 英寸 ConFlat 法兰上提供
可烘烤至 400 °C
运行压力范围为 1.0–4 至 1.0–12 mbar
钛丝架上装有三根钛丝，每根丝含 1.1 g 可用钛
可更换钛丝包中有 12 条钛丝，足以进行 4 次替换
Mini Ti-Ball 钛球可提供 15.2 g 可用钛，能够延长使用寿命
在 300 瓦的功率下可实现最大程度的 Ti-Ball 钛球升华，但待机功率要求为 100 瓦，以免钛球在不使用时破裂

三、资料下载

3.1）离子泵资料下载

Agilent_Catalog_Ion_Pumps.pdf

3.2） IPCMini控制器资料下载

IPCMini_DataSheet.pdf

四、部件号及说明

部件号	说明
9160051	钛升华泵，更换灯丝，12/包
9240730	高压电缆，钛升华芯，3.5 m
9160008	更换微型 Ti-Ball 源
9240730M001	TSP CABLE
9160050	钛升华泵，灯丝源，2.75 英寸，ConFlat
9240730M017	TSP CARTRIDGE CABLE
9190180	钛升华 Cryopanel，8 英寸，ConFlat 法兰
9240730M015	TSP CARTRIDGE CABLE
9240730M013	TSP CABLE
9299011	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，200 W 正压
9299010	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，200 W 负压
9299200	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，两条通道，80 W 负压
9299201	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，两条通道，80 W 正压
9299211	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 x 80 W 正压通道和 1 x 200 W 正压通道
9299210	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 x 80 W 负压通道和 1 x 200 W 负压通道
9299021	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，两条通道，200 W 正压
9299020	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，两条通道，200 W 负压
9299213	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 x 80 W 负压通道和 1 x 200 W 正压通道
9299212	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 x 80 W 正压通道和 1 x 200 W 负压通道
9299400	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，4 x 80 W 负压通道
9299401	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，4 x 80 W 正压通道
9299022	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，200 W 负压和 200 W 正压通道
9299402	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 × 80 W 正压通道和 2 × 80 W 负压通道
9192541	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 150，150 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192510	二极离子泵，用于 VacIon Plus 150，150 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192511	二极离子泵，用于 VacIon Plus 150，150 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192540	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 150，150 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192611	二极离子泵，用于 VacIon Plus 300，300 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192642	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 300，300 L/s，带底部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192643	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 300，300 L/s，带底部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192610	二极离子泵，用于 VacIon Plus 300，300 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192612	二极离子泵，用于 VacIon Plus 300，300 L/s，带底部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192613	二极离子泵，用于 VacIon Plus 300，300 L/s，带底部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192641	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 300，300 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192640	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 300，300 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192713	二极离子泵，用于 VacIon Plus 500，500 L/s，带底部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192711	二极离子泵，用于 VacIon Plus 500，500 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192712	二极离子泵，用于 VacIon Plus 500，500 L/s，带底部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192710	二极离子泵，用于 VacIon Plus 500，500 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192743	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 500，500 L/s，带底部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器
9192742	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 500，500 L/s，带底部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192740	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 500，500 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 120 V 加热器
9192741	StarCell 离子泵，用于 VacIon Plus 500，500 L/s，带侧部安装的 Cryopanel，TSP 泵芯，已安装 220 V 加热器