4UHV 控制器

作为从安捷伦最新推出的 VacIon 泵系列的一员，4UHV 离子泵控制器能使您独立地启动、控制和监控多达 4 台抽速从 20 到 500 L/s 的离子泵。新的低电噪音设计可以让您在关键应用中自由地选择舍弃或减少电气噪声过滤器的使用。与所有安捷伦真空产品一样，我们致力于让您满意。我们能为您提供完善的服务和支持，满足您的特定需求。

一、特性

控制器可自动调节工作电压，从而优化抽气速率
通过利用模拟量输出或 RS232/485 端口，可以方便地访问真空系统所有的元件。
根据您的需要提供多种配置，能驱动一到四种不同尺寸，抽速从 20 到 500 L/s 的泵。
施加的高电压作为压力的函数而得到优化，从而提供更准确的压力读数，实现 10-10 mbar 超高压区域范围内的压力测量。
保护模式对电流进行了限制，以保护泵和控制器。
电缆配备有一个互锁系统，当插头从泵中移除时，该系统将立即关闭高压。
高压输出的交流分量减少到最低限度，从根本上消除了对额外过滤器的需求，特别适用于扫描电镜 (SEM) 应用。
采用安捷伦 T-Plus 软件

二、性能指标

技术指标
输入电压	100 – 240 Vac (+/-10%)
输入频率	50/60 Hz
规格	400.5 x 211.4 x 177.0（长 x 宽 x 高）
显示器	4 行 20 个字符
可用配置	1x120W, 1x200W, 2x80W, 2x200W, 4x80W, 2x80W+1x200W
最低配置	一个 120 W、200 W 或 2 x 80 W 的高压卡
输出电压（开路）	3、5 和 7 kV
输出电流（短路状态）	80 W 的电流为 40 mA，200 W 的电流为 100 mA
操作模式	本地/通信接口/远程
前面板读数	电压、压力、电流、状态
安全标志	CE、C_CSA_US
电流测量范围	10 nA 到 100 mA
输入信号	开/关；保护；按步加压模式；
输出信号	模拟输出、常闭设定点、常开设定点
高压连接器	Fischer 105 型
最大输出功率	400 W

外形图

三、资料下载

2.1） 4 UHV 控制器资料下载

brochure-ion-pump-controller-4UHV-5994-0751en-agilent.pdf

四、部件号及说明

部件号	说明
9160008	更换微型 Ti-Ball 源
9160050	钛升华泵，灯丝源，2.75 英寸，ConFlat
9160051	钛升华泵，更换灯丝，12/包
9190180	钛升华 Cryopanel，8 英寸，ConFlat 法兰
9240730	高压电缆，钛升华芯，3.5 m
9240752	电缆，用于微型 Mini Ti-Ball，3.5 m
9290032	Sublimation controller set, for 110 Vac
9290033	Sublimation controller set, for 220 Vac
9290064	支架安装接头，19 英寸，半支架
9290707	高压电缆，抗辐射，带互锁，用于任意 Vaclon Plus 泵，7 m（23 英尺）
9290708	高压电缆，抗辐射，带互锁，用于任意 Vaclon Plus 泵，10 m（33 英尺）
9290709	高压电缆，抗辐射，带互锁，用于任意 Vaclon Plus 泵，20 m（66 英尺）
9290710	High voltage cable, bakeable, StarCell/Fischer, 4 m (13 ft)
9290712	High voltage cable, bakeable, old Varian/Fischer, 4 m (13 ft)
9299010	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，200 W 负压
9299011	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，200 W 正压
9299020	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，两条通道，200 W 负压
9299021	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，两条通道，200 W 正压
9299022	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，200 W 负压和 200 W 正压通道
9299200	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，两条通道，80 W 负压
9299201	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，两条通道，80 W 正压
9299210	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 x 80 W 负压通道和 1 x 200 W 负压通道
9299211	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 x 80 W 正压通道和 1 x 200 W 正压通道
9299212	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 x 80 W 正压通道和 1 x 200 W 负压通道
9299213	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 x 80 W 负压通道和 1 x 200 W 正压通道
9299400	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，4 x 80 W 负压通道
9299400	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，4 x 80 W 负压通道
9299401	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，4 x 80 W 正压通道
9299402	控制器，Vaclon 离子泵，4UHV，2 × 80 W 正压通道和 2 × 80 W 负压通道
9699883	A-PLUS 泵控制软件套装，位于压缩光盘上，带有 3 米长串行电缆。该产品无法在中国在线购买。请联系安捷伦客户服务中心
9290706M014	Cable, high voltage, king connector, 0.5 m
9290710M023	High voltage cable, withour interlock, SHV/Fischer, 4 m (13 ft)
9290710M024	High voltage cable, withour interlock, SHV/Fischer, 7 m (23 ft)
9290710M025	High voltage cable, withour interlock, SHV/Fischer, 10 m (33 ft)
9290710M026	High voltage cable, withour interlock, SHV/Fischer, 20 m (66 ft)
X3602-64000	IPCMini ion pump controller, 100–240 V, fischer high voltage connector, negative polarity
X3602-64001	IPCMini ion pump controller, 100–240 V, fischer high voltage connector, positive polarity
X3602-64002	IPCMini ion pump controller, 24 VDC, fischer high voltage connector, negative polarity
X3602-64003	IPCMini ion pump controller, 24 VDC, fischer high voltage connector, postive polarity
X3602-64011	IPCMini ion pump controller, 100–240 V, fischer high voltage connector, positive polarity, ethernet
X3602-64012	IPCMini ion pump controller, 24 VDC, fischer high voltage connector, negative polarity, ethernet
X3602-64013	IPCMini ion pump controller, 24 VDC, fischer high voltage connector, positive polarity, ethernet
X3602-64020	IPCMini ion pump controller, 100–240 V, SHV high voltage connector, negative polarity
X3602-64021	IPCMini ion pump controller, 100–240 V, SHV high voltage connector, positive polarity
X3602-64022	IPCMini, 24VDC, King HV, NEG
X3602-64023	IPCMini ion pump controller, 24 VDC, SHV high voltage connector, positive polarity
X3602-64030	IPCMini ion pump controller, 100–240 V, SHV high voltage connector, negative polarity, ethernet
X3602-64031	IPCMini, King HV, POS, ETH
X3602-64032	IPCMini ion pump controller, 24 VDC, SHV high voltage connector, negative polarity, ethernet
X3602-64033	IPCMini ion pump controller, 24 VDC, SHV high voltage connector, positive polarity, ethernet
X3602-68001	Adapter, on/off, MiniVac to ICPMini
X3602-68002	Adapter, interlock to IPCMini
X3602-68003	RS232 cable, 3 m long