FRG-700/702 皮拉尼反磁控真空规

安捷伦 FRG-700 规为全量程规，在紧凑且经济的规管内集成两种测量技术，以测量从 5 x 10 -9 mbar 至大气压（3.8 x 10 -9 Torr 至大气压）的工作压力和极限压力。带有一个对数模拟输出信号的单一紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。其优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号，内含金属密封的真空密封穿导件。该规管可以在比 FRG-700（法兰处最高 55℃）更高的温度（法兰处最高 150℃）下工作。

特性

• 两种测量技术集于一台紧凑、一体化、经济的封装中

• 测量过程和极限压力从 5 x 10-9 mbar 至大气压（3.8 x 10-9 Torr 至大气压）

• 一体化、紧凑的规管带有对数模拟输出，可大幅降低安装、设置和集成的复杂性

• 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力，以及中高真空范围内的普通真空测量和控制

• 宽测量范围，从 5 × 10-9 mbar 至大气压

• 灯丝不易毁坏

• 优异的启动性能

• 易于清洁

性能指标

技术指标 

外形图

部件清单