563 B-A 型规管安捷伦 563 B-A 型热阴极电离规管采用加热灯丝作为电子源。该规管在 2 x 10 -10 至 1 x 10 -3 torr 的压力范围内具有卓越的性能。玻璃壳体内部使用铂涂层,可以在较低压力下为真空规提供静电屏蔽,同时又可释放高压下可能积聚的静电。此外,还提供在低于 5 x 10 -6 torr 真空下的校准规,用于测试真空规控制器。
![1581127089877393.png 563_bayard-alpert_standard-range_ionization_gauge_tube_lg.png](/data/upload/image/20200208/1581127089877393.png)
特性
性能指标
灵敏度 | 10 (Torr)-1 (mbar)-1(通常情况下) | 通过 Agilent STARRS 程序可选择精确测量。 | 请联系安捷伦获取详细信息 | 工作值 | • 0 VDC(收集级) | • + 180 VDC 接地(栅极) | • + 30 VDC 接地 | • 5 VAC 额定电压(灯丝) | X 射线极限值 | 2 x 10-10 Torr, (2.6 x 10-10 mbar) | 工作压力 | 2 x 10-10 Torr 到 1 x 10-3 Torr? | (2.7 x 10-10 mbar 到 1 x 10-3 mbar) |
外形图
![](/data/upload/image/20200208/1581127245160267.png)
资料下载
563 Ionization Gauge Tube Instruction Manual.pdf
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