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安捷伦真空计 563 B-A

563 B-A 型规管

安捷伦 563 B-A 型热阴极电离规管采用加热灯丝作为电子源。该规管在 2 x 10 -10 至 1 x 10 -3 torr 的压力范围内具有卓越的性能。玻璃壳体内部使用铂涂层,可以在较低压力下为真空规提供静电屏蔽,同时又可释放高压下可能积聚的静电。此外,还提供在低于 5 x 10 -6 torr 真空下的校准规,用于测试真空规控制器。



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特性


  • 563 规管拥有多种接口类型可供选择。


性能指标


灵敏度
10 (Torr)-1 (mbar)-1(通常情况下)
通过 Agilent STARRS 程序可选择精确测量。
请联系安捷伦获取详细信息
工作值

 •   0 VDC(收集级)

    + 180 VDC 接地(栅极)

    + 30 VDC 接地

    5 VAC 额定电压(灯丝)

X 射线极限值
2 x 10-10 Torr, (2.6 x 10-10 mbar)
工作压力
2 x 10-10 Torr 到 1 x 10-3 Torr?
(2.7 x 10-10 mbar 到 1 x 10-3 mbar)


外形图




资料下载

563 Ionization Gauge Tube Instruction Manual.pdf