普发真空为旋片泵提供不同的泵油(真空油)。通过使用适合于您工艺的泵油,可以显著提高泵的使用寿命。单一矿物油可覆盖多种应用,例如使用空气或惰性气体以及水蒸气的泵。复合蒸馏矿物油虽然可用于高要求的应用中,但是会造成化学腐蚀或等离子体离化。它适用于温度低于 120 °C 的情况。全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性,适用于使用强腐蚀化学品的工艺,例如半导体和薄膜工业,以及氧气含量大于 21 % 的介质。
矿物油是为旋片泵的腐蚀性版本设计,由于使用矿物油,工作液成本相对较低。
普发真空全氟聚醚 (PFPE) 惰性工作液,可用于极强腐蚀性的工艺中。PFPE 工作液必须单独订购。
类别 | 油品 | 选择字段 | 可达到的最终压力 [百帕] | 订单号 | 用于泵类型 | 适用范围 | 用于 50 Hz 运行的标准矿物油 | A120 | A120,烃油,2 L | < 3 · 10-3 | 68099 | Pascal SD | 适用于一般用途、非腐蚀性气体、低温启动的烃油 | A120,烃油,56 L | < 3 · 10-3 | 10991 | P3 | P3,矿物油,0.5 l | < 1 · 10-3 | PK 001 136 -T | Pascal SD Hena DuoLine | 适用于泵送空气、惰性气体和稀有气体的标准应用 适用于高运行温度最高 95 °C 时使用 极低的蒸气压,可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa | P3,矿物油,1 l | < 1 · 10-3 | PK 001 106 -T | P3,矿物油,5 l | < 1 · 10-3 | PK 001 107 -T | P3,矿物油,20 l | < 1 · 10-3 | PK 001 108 -T | P3,矿物油,200l | < 1 · 10-3 | PK 001 110 -T | 用于 60 Hz 运行的标准矿物油 | A119 | A119,烃油,1 L | 3 · 10-3 | 103855 | Pascal C1 | 通用矿物油,非腐蚀性气体 | P3 | P3,矿物油,0.5 l | < 1 · 10-3 | PK 001 136 -T | Pascal SD Hena DuoLine | 适用于泵送空气、惰性气体和稀有气体的标准应用 适用于高运行温度最高 95 °C 时使用 极低的蒸气压 | P3,矿物油,1 l | < 1 · 10-3 | PK 001 106 -T | P3,矿物油,5 l | < 1 · 10-3 | PK 001 107 -T | P3,矿物油,20 l | < 1 · 10-3 | PK 001 108 -T | P3,矿物油,200l | < 1 · 10-3 | PK 001 110 -T | 含抗乳化剂的矿物油 | A102 | A102,烃油,2 L | 3 · 10-2 | 10996 | Pascal C1 | 适用于水和有机酸蒸汽泵吸的烃油 冷冻干燥 | A102,烃油,5 x 2 L | 3 · 10-2 | 68853 | Pascal C1 | A102,烃油,56 L | 3 · 10-2 | 10987 | Pascal C1 | A111 | A111,烃油,2 L | 1 · 10-2 | 64655 | Pascal C1 | 适用于高压和高温的烃油 | A111,烃油,5 x 2 L | 1 · 10-2 | 68854 | Pascal C1 | 含抗氧化添加剂的双蒸馏矿物合成油 | A121 | A121,烃油,1 L | 3 · 10-3 | 102724 | Pascal C1 | 适于高压,高温,高应变的矿物油 | 双蒸馏矿物油 | A200 | A200,蒸馏烃油,19 L | 2 · 10-3 | 68696 | Pascal | 适用于低回流和高耐化学性的蒸馏烃油 | A300 | A300,白矿物油,19 L | 5 · 10-3 | 68892 | Pascal | 白色矿物烃油,高度耐化学腐蚀,适用于泵吸路易斯酸、卤素、...... | A300,白矿物油,1 L | 5 · 10-3 | 68890 | Pascal | A400 | A400,1 L | 1 · 10-2 | 125895 | Pascal 2021HW | 水蒸气容量高,冷冻干燥 | 全氟聚醚 (PFPE,泵抽速< 20 m³/h) | A113 | A113,全氟聚醚油,0.5 L | 5 · 10-3 | 64657 | Pascal 2010/2015/2021 C2 | 适用于氧气和高度腐蚀性气体泵吸的全氟聚醚油 等离子蚀刻 | A113,全氟聚醚油,2.5 L | 5 · 10-3 | 64657 | F4 | F4,全氟聚醚,0.25 l | < 1 · 10-3 | PK 005 885 -T | DuoLine MC | 适用于泵出氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、 BF3、HF、PO3和氟 适用于高运行温度最高 120 °C 时使用 适用于具有 < 20 m3/h 抽吸能力的泵 极低的蒸气压,可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa | F4,全氟聚醚,0.5 l | < 1 · 10-3 | PK 005 886 -T | F4,全氟聚醚, 1 l | < 1 · 10-3 | PK 005 887 -T | F4,全氟聚醚, 5 l | < 1 · 10-3 | PK 005 888 -T | F4,全氟聚醚,20 l | < 1 · 10-3 | PK 005 889 -T | 全氟聚醚 (PFPE,泵抽速>20 m³/h) | A113 | A113,全氟聚醚油,0.5 L | 5 · 10-3 | 64657 | Pascal 2010/2015/2021 C2 DUO 35C/65C,DUO65MC | 全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性,适用于使用强腐蚀化学品的工艺,例如半导体和薄膜工业,以及氧气含量大于 21 % 的介质。 等离子蚀刻 | A113,全氟聚醚油,2.5 L | 5 · 10-3 | 64659 | 二酯 | D1 | D1 油,0.5 l | < 5 · 10-2 | PK 005 881 -T | HeptaDry Pascal C1 | 适用于高运行温度最高 120 °C 时使用 极低的蒸气压,可实现的极限压力 < 5 · 10-2 hPa | D1 油,1 l | < 5 · 10-2 | PK 005 875 -T | D1 油,5 l | < 5 · 10-2 | PK 005 876 -T | D1 油,20 l | < 5 · 10-2 | PK 005 877 -T | D1,油,200 l | < 5 · 10-2 | PK 005 879 -T |
备注:对于通用款单级/双级旋片泵,使用P3润滑油,DuoLine MC系列使用F4全氟油,其中Duo35MC和65MC使用F5/A113全氟油 Okta罗茨泵使用P3油,HeptaDry使用D1油,特殊情况应用参考适用范围
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