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产品分类
普发真空泵油 Pfeiffer oil


普发真空为旋片泵提供不同的泵油(真空油)。通过使用适合于您工艺的泵油,可以显著提高泵的使用寿命。单一矿物油可覆盖多种应用,例如使用空气或惰性气体以及水蒸气的泵。复合蒸馏矿物油虽然可用于高要求的应用中,但是会造成化学腐蚀或等离子体离化。它适用于温度低于 120 °C 的情况。全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性,适用于使用强腐蚀化学品的工艺,例如半导体和薄膜工业,以及氧气含量大于 21 % 的介质。


矿物油是为旋片泵的腐蚀性版本设计,由于使用矿物油,工作液成本相对较低。


普发真空全氟聚醚 (PFPE) 惰性工作液,可用于极强腐蚀性的工艺中。PFPE 工作液必须单独订购。


类别油品选择字段可达到的最终压力 [百帕]订单号用于泵类型适用范围

用于 50 Hz 运行的标准矿物油
A120A120,烃油,2 L<   3 · 10-368099Pascal SD适用于一般用途、非腐蚀性气体、低温启动的烃油
A120,烃油,56 L<   3 · 10-310991
P3P3,矿物油,0.5 l<   1 · 10-3PK 001 136 -TPascal SD
Hena
  DuoLine
适用于泵送空气、惰性气体和稀有气体的标准应用
适用于高运行温度最高 95 °C 时使用
极低的蒸气压,可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa
P3,矿物油,1 l<   1 · 10-3PK 001 106 -T
P3,矿物油,5 l<   1 · 10-3PK 001 107 -T
P3,矿物油,20 l<   1 · 10-3PK 001 108 -T
P3,矿物油,200l<   1 · 10-3PK 001 110 -T
用于 60 Hz 运行的标准矿物油A119A119,烃油,1 L3   · 10-3103855Pascal C1通用矿物油,非腐蚀性气体
P3P3,矿物油,0.5 l<   1 · 10-3PK 001 136 -TPascal SD
Hena
DuoLine
适用于泵送空气、惰性气体和稀有气体的标准应用
适用于高运行温度最高 95 °C 时使用
极低的蒸气压
P3,矿物油,1 l<   1 · 10-3PK 001 106 -T
P3,矿物油,5 l<   1 · 10-3PK 001 107 -T
P3,矿物油,20 l<   1 · 10-3PK 001 108 -T
P3,矿物油,200l<   1 · 10-3PK 001 110 -T
含抗乳化剂的矿物油A102A102,烃油,2 L3   · 10-210996Pascal C1适用于水和有机酸蒸汽泵吸的烃油
冷冻干燥
A102,烃油,5 x 2 L3   · 10-268853Pascal C1
A102,烃油,56 L3   · 10-210987Pascal C1
A111A111,烃油,2 L1   · 10-264655Pascal C1适用于高压和高温的烃油
A111,烃油,5 x 2 L1   · 10-268854Pascal C1
含抗氧化添加剂的双蒸馏矿物合成油A121A121,烃油,1 L3   · 10-3102724Pascal C1适于高压,高温,高应变的矿物油
双蒸馏矿物油A200A200,蒸馏烃油,19 L2   · 10-368696Pascal适用于低回流和高耐化学性的蒸馏烃油
A300A300,白矿物油,19 L5   · 10-368892Pascal白色矿物烃油,高度耐化学腐蚀,适用于泵吸路易斯酸、卤素、......
A300,白矿物油,1 L5   · 10-368890Pascal
A400A400,1 L1   · 10-2125895Pascal 2021HW水蒸气容量高,冷冻干燥
全氟聚醚 (PFPE,泵抽速< 20 m³/h)A113A113,全氟聚醚油,0.5 L5   · 10-364657Pascal 2010/2015/2021 C2适用于氧气和高度腐蚀性气体泵吸的全氟聚醚油
等离子蚀刻
A113,全氟聚醚油,2.5 L5   · 10-364657
F4F4,全氟聚醚,0.25 l<   1 · 10-3PK 005 885 -TDuoLine MC适用于泵出氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、   BF3、HF、PO3和氟
适用于高运行温度最高 120 °C 时使用
适用于具有 < 20 m3/h 抽吸能力的泵
极低的蒸气压,可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa
F4,全氟聚醚,0.5 l<   1 · 10-3PK 005 886 -T
F4,全氟聚醚, 1 l<   1 · 10-3 PK 005 887 -T
F4,全氟聚醚, 5 l<   1 · 10-3PK 005 888 -T
F4,全氟聚醚,20 l<   1 · 10-3PK 005 889 -T
全氟聚醚 (PFPE,泵抽速>20 m³/h)A113A113,全氟聚醚油,0.5 L 5 · 10-364657Pascal 2010/2015/2021 C2
DUO 35C/65C,DUO65MC
全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性,适用于使用强腐蚀化学品的工艺,例如半导体和薄膜工业,以及氧气含量大于 21 % 的介质。
等离子蚀刻
A113,全氟聚醚油,2.5 L 5 · 10-364659
二酯D1D1 油,0.5 l<   5 · 10-2PK 005 881 -THeptaDry
Pascal C1
适用于高运行温度最高   120 °C 时使用
   
极低的蒸气压,可实现的极限压力 < 5 · 10-2 hPa
D1 油,1 l<   5 · 10-2PK 005 875 -T
D1 油,5 l<   5 · 10-2PK 005 876 -T
D1 油,20 l<   5 · 10-2PK 005 877 -T
D1,油,200 l<   5 · 10-2PK 005 879 -T


备注:对于通用款单级/双级旋片泵,使用P3润滑油,DuoLine MC系列使用F4全氟油,其中Duo35MC和65MC使用F5/A113全氟油

    Okta罗茨泵使用P3油,HeptaDry使用D1油,特殊情况应用参考适用范围