1。基本信息：

2.故障分析结果

2.1故障信息：

1、故障现象为分子泵启动到700转左右，电压报警，从67V降到41V。

2、本次为标准保养。

2.2机械部分：

1、泵体内部有轻微返油，滤网破损。

2、Spindle的内表面有轻微擦伤。

3、轴承有轻微磨损。

4、泵检漏有漏气。

2.3电器部分：

1、马达内表面有异常。

2、控制器主板故障，会出现电压异常报警。

3.分析结论：

1、该泵因控制器电压异常，导致异常停机分子泵转速上不去。

2、轴承由于分子泵转速上不去，一直在高速运转，导致轴承磨损。

4.保养与建议：

1、如果分子泵抽腐蚀性工艺气体，整机建议保养时间为8500H（一年）一次。

2、分子泵如有异常停机现象，请记录报警信息并联系工程师。

3、马达及轴承都有轻微擦伤，如正常使用，建议保养时间为17000H（两年）一次。

4、分子泵切忌掉入异物，建议定期检查并清洁滤网。

5.检测信息：

1.收到货物	2.打开包装
3.盖板破损	4.滤网破损
5.内部褐色制程	6.Spindle磨损
7.轴	8.轴承及O-ring
9.OBE拆解	10.最终测试达到满速