ASM340检测报告

1.基本信息：

2.故障分析结果

2.1故障信息：

1、故障现象为开机自检无法通过，开机报警e096（自动校准失败），峰值调节故障。

2、开机数值很高，在-4mbar.L/s数量级，且波动不稳定。

2.2机械部分：

1、打开机器外壳，内部充满大量灰尘和碎屑。

2、打开进气口，进气口同样充满大量灰尘和碎屑。

3、打开进气口下面滤网，有大量黑色附着物。

4、分子泵目前运转正常。

5、前级泵油位偏高，油色发黄，油污过滤器已经失效。

6、内置漏孔目前测试正常。

7、阀门很脏且老化。

2.3电器部分：

1、主板，电源板，控制面板运行正常。

2、质谱室内灯丝及电子收集器套件氧化严重

3、离子收集器烧毁

3.分析结论：

1、该机器由于长时间未保养，灯丝及收集器氧化严重，离子收集器烧毁，导致无法接收离子，无法识别氦气。

2、前级油泵内部油色发黄发黑，油污过滤器已经失效，导致机器内部充满油污。

4.保养与建议：

1、灯丝和收集器为消耗品，会随着使用时间延长而寿命缩短，建议客户当灯丝使用寿命过低时更换。

2、前级泵建议每12000小时保养一次。

3、内置漏孔过5年使用年限，建议客户更换。

4、油雾过滤器建议每8500小时更换。

5.检测信息：

  5.1打开外壳à观察内部基本情况

5.2

打开机器外壳	内置漏孔测试，数值准确

前级油泵，油色发黄（正常透明色）	前级泵与阀块接口充满黑色附着物
进气滤网很脏	进气口内部充满黑色附着物
阀门内部很脏	阀门内部很脏