中高真空过滤器

概述

WL系列真空过滤器是专为各种工业和半导体热循环和/或压力循环工艺设计的，操作条件苛刻。

主要应用于中高真空，尤其在熔炼炉和沉积工具工艺中。

WL系列标准配置有多种真空法兰和可更换的过滤元件，为真空系统提供优越的保护和使用寿命。

本系列的外壳经过100%氦气泄漏测试，以确保真空完整性，并验证泄漏率降至1x 10-5 mbar/l/s。

规格

尺寸/AB/C/D单位:mm

功能

NW16-NW40 法兰接口

ISO法兰

Buna-O形圈密封

无缝壳体

不锈钢扭力夹

耐腐蚀碳钢结构

粉末喷涂涂面

技术规格

额定真空泄漏率1x10-5 mbar/l/sec或更好(通过氦泄漏试验验证)

温度(连续):min -26℃，max 104℃

过滤器出口压差:28 - 37 Torr高于初始ΔP

聚酯:99%+过滤效率达到5微米