1. 1.基本信息 

2.故障分析结果

2.1故障信息：

1、故障现象为分子泵启动后到33Hz上不去。

2、分子泵内部有尖锐音。

2.2机械部分：

1、分子泵油棉油溢出严重。

2、轴承座内有轴承磨下来的金属削。

3、分子泵转子轴承端的轴有磨损。

4、分子泵内部有工艺介质沉积。

5、分子泵定子有一对弯曲。

2.3电器部分：

1、除故障代码外，TC使用正常。

3.分析结论：

1、该泵因前级泵保养不及时，造成分子泵负载加大，分子泵受放气气流冲击。

2、轴承由于分子泵转速上不去，一直在高速运转，导致轴承磨损。

3、工艺介质有沉积物。

4、由于轴承磨损造成分子泵运转不正常，定叶片弯曲。

4.保养与建议：

1、如果分子泵抽腐蚀性工艺气体，整机建议保养时间为8500H（一年）一次。

2、分子泵如有异常停机现象，请记录报警信息并联系工程师。

3、马达及轴承都有轻微擦伤，如正常使用，建议保养时间为17000H（两年）一次。

4、分子泵停机过程中要控制放气量，尽量自然停机以避免分子泵受气体冲击。

5.检测信息：

1. 分子泵现场	2.油棉漏油
3.油棉污染	4.轴承座有磨屑
5.转子轴磨损	6.泵腔介质沉积
7.轴承座备件包	8.油棉备件包
9.维修保养后测试	10.真空度测试（胶圈密封）

结果：

1.   更换分子泵轴承座和油棉套装。

2.   清洁泵腔，超声波清洗定叶片。

3.   胶圈密封测试真空度优于5.8*10-8mbar。

4.  更换一对弯曲的定叶片。

5. 维修后无尖锐音，测试后分子泵运行正常。