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普发分子泵维修保养HiPace300
  1. 1.基本信息 

型号:

HiPace300

客户名称:

中科院上海**研究所

报告日期:

2021年1月

2.故障分析结果

2.1故障信息:

1、故障现象为分子泵启动后到10Hz转速上不去。

2、分子泵组有刺鼻气体。

2.2机械部分:

1、分子泵油棉润滑不足,油棉污染。

2、轴承座内有轴承磨下来的金属屑,轴承保持架脱落。

2.3电器部分:

1、除故障代码外,TC使用正常。

2、软件检测泵有气流冲击、快速停机造成的多次故障代码。

3.分析结论:

1、腔体内多层材料放气,造成系统压力不稳定。

2、初步怀疑在停机时有放气或使用时阀门开关不当。

4.保养与建议:

1、分子泵停机时开关阀门要依照停机规律进行,最好自然停机,最后关闭前级泵

2、多腔室压力不同时,阀门开关切换要注意观测各腔室的真空计压力值变化。

3、增加前级泵入口隔离阀,意外停机自动隔离前级泵与系统。

4、专业人员操作,定期维护保养。

5.检测信息:

1. 油棉干涩2.金属磨屑


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3.轴承保持架脱落4. 内部拆解


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5.软件查看使用记录6.维修保养后测试


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结果:

1.   更换分子泵轴承座和油棉套装

2.   清洁泵腔,超声波清洗定叶片。

3.   胶圈密封测试真空度优于1.7*10-8mbar

4. 维修后转速达到1000Hz,测试后分子泵运行正常。