1. 1.基本信息 

2.故障分析结果

2.1故障信息：

1、故障现象为分子泵启动后到10Hz转速上不去。

2、分子泵组有刺鼻气体。

2.2机械部分：

1、分子泵油棉润滑不足，油棉污染。

2、轴承座内有轴承磨下来的金属屑，轴承保持架脱落。

2.3电器部分：

1、除故障代码外，TC使用正常。

2、软件检测泵有气流冲击、快速停机造成的多次故障代码。

3.分析结论：

1、腔体内多层材料放气，造成系统压力不稳定。

2、初步怀疑在停机时有放气或使用时阀门开关不当。

4.保养与建议：

1、分子泵停机时开关阀门要依照停机规律进行，最好自然停机，最后关闭前级泵

2、多腔室压力不同时，阀门开关切换要注意观测各腔室的真空计压力值变化。

3、增加前级泵入口隔离阀，意外停机自动隔离前级泵与系统。

4、专业人员操作，定期维护保养。

5.检测信息：

1. 油棉干涩	2.金属磨屑
3.轴承保持架脱落	4. 内部拆解
5.软件查看使用记录	6.维修保养后测试

结果：

1.   更换分子泵轴承座和油棉套装。

2.   清洁泵腔，超声波清洗定叶片。

3.   胶圈密封测试真空度优于1.7*10-8mbar。

4. 维修后转速达到1000Hz，测试后分子泵运行正常。