1. 基本信息

2. 故障分析

2.1 故障信息：

          泵卡死，通电后风扇转，但泵无法正常运转；

2.2 机械部分：

     1、齿轮箱润滑油全部呈胶状；

     2、高压腔泵体有磨损，转子有划伤；

     3、泵腔沉积大量制程物造成转子卡死。

2.3 电器部分：

     泵卡死无法开机判断马达是否正常，待整机组好后测试；

3. 分析结论：

1、该泵由于长期未做保养直到轴承寿命用尽，需要更换轴承；

2、该泵内部沉积制程物，造成运转不畅导致泵卡死，需要清洗保养；

4. 保养与建议：

    1、根据客户具体的使用要求，我司建议每半年更换一次泵油；

    2、我司建议每8600h（一年）做一次常规保养，更换老化的密封圈及轴承等消耗品；

    3、该泵尽量不要抽腐蚀性气体或固体颗粒，如有需要请连接氮气吹扫；

    4、如有高温报警或异常报警请立即联系我司人员维护，以减少不必要的损失。

5. 拆解检测照片

真空泵拆开外壳	转子划伤
齿轮润滑油胶状	制程物沉积
轴和转子损伤	维修后指标

结果 ：

真空泵维修保养后，极限指标低于2.9*10-2mbar.

泵振动及噪音正常。