1.基本信息：

2.故障分析结果

2.1.故障信息：

1、故障现象为开机启动泵组后，分子泵转速迟迟上不去并伴随咔吱吱异响。

2、控制器显示分子泵电流频繁跳动，电流不稳定。

2.2.机械部分：

1、隔膜泵进气端盖有膜片残胶，内部有工艺介质沉积，泵腔有杂质残留。

2、前级泵排气口垫片等密封面老化。

3、分子泵油棉发黑、润滑油返出。

4、转子顶部磁环有碎屑，轴承损坏。

5、转子轴磨损出黑色油泥，转子碳纤维刮擦严重。

2.3.电器部分：

1、控制器有多次报错信息，wrn168,Err 006。

2、控制器正常操作，无蓝屏或错误乱码等现象。

3.分析结论：

1、前级泵进气端面有残胶，容易残留水汽，密封垫片老化，容易密封不严漏气

2、前级泵真空上不去，分子泵润滑油外漏，造成轴承润滑不足。

3、故障代码显示系统有漏气现象，气流冲击造成转子失衡刮擦损伤。

4、前级真空不足造成油棉内油溢出，加之轴承磨损，形成轴承座上油泥。

4.保养与建议：

1、更换前级泵膜片和密封垫片并对MVP015全面清洁保养。

2、更换分子泵全新的转子，更换分子泵轴承。

3、清洁分子泵油腔并更换油棉，导油棒和密封圈。

4、建议分子泵组自动停机，尽量减少人为放气停机操作。

5、每年做标准维护保养，不私自拆解泵组。

5.检测信息：

5.1、真空泵	5.2、型号及序列号
5．3、膜片残胶	5.4、前级泵维护后低于3.5mbar
5.5、磁环有碎屑	5.6、轴承座有油泥
5.7、油棉油溢出	5.8、碳纤维刮擦严重

 6.结果：

1.  经过对前级泵和分子泵全面维护保养后，分子泵极限指标：3.7*10-7mbar，低于标准值5*10-7mbar(KF真空计，氟橡胶胶密封测试)。

2.  前级泵真空度2.8mbar,高于出厂标准指标3.5mbar。

3.  分子泵电流稳定，转速1500Hz，运转正常。