Pfeiffer德国普发检漏仪案例展示 - Pfeiffer 德国普发检漏仪案例展示 - 经典案例

Pfeiffer德国普发检漏仪案例展示

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氦气检漏仪：安全、定量、可重复。

氦气检漏仪是在真空条件下对泄漏探测和密封性检验的理想解决方案。示踪气体氦气是安全的、小而轻的分子，适合于探测小的泄漏。在真空检验情况下，氦气的检测范围在 10-2 和 10-13 Pa · m3 /s 之间。氦气检漏仪的泄漏检测是极精准、定量并且可重复的。

与传统的泄漏检测方法相比，例如泡沫检验或压降方法，使用示踪气体的泄漏检测方法具有提供额外数据的优势。这些数据可用于改善生产工艺，并成功地检测到每一处泄漏。

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案例一
案例一	应用：冷原子钟腔室要满足超高真空要求的同时，由于在轨长时间运行，稳压至关重要，对于系统的漏率提出极高的要求，超高真空需要达到10-8~10-9Pa数量级，漏率指标低于510-12Pa.m3/S。配置：ASM340D检漏仪，前级泵选用隔膜泵干泵。漏率：真空法最小检漏漏率510-13Pa.m3/S；正压检最小检漏漏率5*10-10Pa.m3/S；
案例二
案例二	应用：分子束外延生长和多腔室互联装置在安装后，需要对所有连接法兰、管路及泵阀组件等进行气密性检测，这样在后期的使用中才更容易实现UHV真空环境，本案例检漏仪在DCA和Veeco的MBE装置上，借助分子泵组辅助抽空，用真空法对装置进行检漏。

上海典初真空技术有限公司

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