一、概述

UHV Alll-Metal Variable Leak Valve；VAT 59024-GE01 微调漏阀

用于最小气流的高精度进气

59.0超高真空全金属可变泄漏阀可精确控制非常小的气体流量（1· 10-10 mbar ls-1 to 500 mbar ls-1）。其全金属设计非常适合超高真空和极端超高真空工艺中的气体进气要求。

59.0的特殊控制功能保证了可重复的精确气体流量设置，增强了过程控制能力。它还提供了在整个使用寿命内可靠、不泄漏的关闭，没有任何密封疲劳的风险。

全金属设计——高级不锈钢阀体和镀金不锈钢膜闸门密封——使59.0对腐蚀性和侵蚀性气体也具有很高的抵抗力。

59.0已经在各种工艺条件下安装在数千个要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。它已成为超高真空和XHV应用中可变泄漏阀的标准解决方案。

二、技术数据

三、漏阀原理

四、资料下载

VAT 59024-GE01漏阀资料

VAT59024-GE01 Variable Leak Valve .pdf

五、联系我们

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