一、真空泵隔离阀 (VPI)

安捷伦真空隔离阀 (VPI) 与机械泵通过电线相连。断电时可以快速关闭阀，从而防止油返流或颗粒进入真空系统。还可从入口侧进行泵放空，将碎屑全部推向出口，从而防止碎屑在泵重启时被冲入系统中。

阀体设计和直角式构造提供了最大的流导。快速动作的稳定密封为您的真空系统提供及时保护.

特性：

• 采用中心锁定机构实现可靠、重复的密封

• 快速动作，在电源故障时，阀在 30 ms 内关闭，防止油或污染物迁移，为您的真空系统提供及时保护

• 在泵入口侧进行泵放空，保持流向不变

• 油/碎屑不会冲入系统中

• 在泵入口压力恢复到系统压力之前保持关闭，以提供持续保护并方便重启

• 在大气压下操作，并在断电时执行，操作无需压缩空气

• 提供最大流导，不降低抽速

二、技术规格

三、订购部件号

四、尺寸

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上海典初真空技术有限公司

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