超稳腔真空系统:主要包括真空腔体、FP 参考腔、隔绝辐射效应的罩层以及它们之间的支撑结构。超稳腔真空系统主要由移动式分子泵和离子泵组成。
一、概述分子束外延(MBE)是新发展起来的外延制膜方法,也是一种特殊的真空镀膜工艺。外延是在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术,它是在适当的衬底与超高真空条件下,由装有各种所需组分的蒸发源加热而产生
分子泵组可用于对高真空和超高真空腔体抽真空,受腔室大小、材料放气率以及抽气时间等因素的影响,定制分子泵组越来越受到使用客户的青睐。结合市场的普遍喜爱,典初真空可结合客户的需求,定制外观精美,便于操作的