CDG-500 电容薄膜规管

Agilent CDG-500 系列温度补偿电容薄膜规管可以在高压范围内提供较高精度。可提供从 1000 Torr 至 1 Torr 的全量程测量。CDG-500 系列采用耐腐蚀的超纯氧化铝瓷隔膜，可提供超常的信号稳定性，并具有从大气环境中快速恢复、预热时间短和坚固性无与伦比的特点。

特性

性能指标

技术指标

测量范围（全量程）	Torr		1000	100		10		1
	Pa		133,322	13,332		1,333		133
	mbar		1333	133		13.3		1.3
	读数 (%)		0.2	0.2		0.2		0.2
温度效应零	零	全量程%/°C	0.005	0.005		0.005		0.015
	跨度	读数 (%)/°C	0.01	0.01		0.01		0.01
分辨率	全量程%		0.003	0.003		0.003		0.003
最大压力	kPa（绝对压力）		400	260		260		260
最低读数	全量程%		0.01
建议最低读数	全量程%		0.05
建议最低控制压力	全量程%		0.05
温度			操作（周围环境）		烘烤温度（法兰处）2		储存
			5 到 50 ℃		< 110 °C		–40 到 65 °C
电源电压			14 到 30 VDC
能耗			< 1 W
输出信号（模拟）			0 到 10 VDC
响应时间			30 ms
防护等级			IP30
电气连接			D-Sub，15 针，内螺纹
设定点3 — 二 (2) 个设定点，SP 1 和 SP 2			继电器触点			滞后
			30 VDC；< 0.5 ADC			全量程的 1%
暴露于真空中的材料			氧化铝陶瓷 (Al2O3)，Vacon 704，不锈钢 (AlSl 316L5) AgCuTi 钎焊，密封玻璃

1 不考虑工作两小时后的温度效应，在 25 ℃ 环境工作温度下的非线性、滞后、重复性
2 未操作
3 仅限于 CDG-500 设定点型号
4 28% Ni，23% Co，49% Fe
5 18% Cr，10% Ni，3% Mo，69% Fe

外形图

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部件清单

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